单晶金刚石

MPCVD 法生长 · 热导率 2200 W/(m·K) · 异质/同质外延大尺寸单晶 · 热学级/光学级/电子级

产品概述 产品优势 技术参数 生长工艺 应用场景 定制能力

产品概述

单晶金刚石通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长,具有所有已知材料中最高的室温热导率(高达 2200 W/(m·K)),同时具备高刚度、极高的硬度和耐磨性,以及化学惰性、抗辐射性和优异的电化学性能。

单晶金刚石在超精密加工、半导体、航天航空、核能源等高新技术领域拥有广泛的应用前景,在许多领域中已成为无可替代的原材料。普连特电子提供高质量热学级、光学级和电子级单晶金刚石产品,尺寸和厚度均可根据客户需求定制。

2200 W/(m·K)
热导率 · 所有材料中最高
MPCVD 法
微波等离子体化学气相沉积
可定制尺寸
6×6mm / 10×10mm · 厚度 0.3–4mm
晶向 100/110
多晶向可选 · 支持掺杂
热导率 2200W/(m·K) MPCVD 生长 异质外延 同质外延 Ra<2nm 表面 可掺杂 热学级/光学级/电子级

产品优势

作为终极半导体材料,单晶金刚石在诸多关键性能指标上远超传统半导体材料(Si、SiC、GaN等),是高功率、高频、高温应用的理想选择。

技术参数

提供不同等级的单晶金刚石产品,从热学级到电子级,满足不同应用场景需求。以下为典型产品参数,特殊需求可另行定制。

尺寸与几何参数
标准尺寸(长×宽)6×6mm、10×10mm 等(可定制)
长宽公差±0.1mm
厚度范围0.3–4mm
厚度公差A级 ±30μm;B级 ±50μm
晶相上下表面(100)面
晶体取向(错切)±3°
边缘加工激光切割 <3°
表面与物理性能
表面粗糙度 A级(Ra)<2nm(白光干涉仪,测试范围125×125μm)
表面粗糙度 B级(Ra)<10nm(白光干涉仪,测试范围125×125μm)
表面粗糙度 A级(Sa)<2nm
表面粗糙度 B级(Sa)<10nm
热导率高达 2200 W/(m·K)
莫氏硬度>10
化学稳定性化学惰性,耐酸碱腐蚀

* 可提供掺杂型单晶金刚石(硼掺杂、氮掺杂),适用于半导体器件和电化学应用领域。详情请咨询技术团队。

生长工艺

1. 异质外延大尺寸单晶

通过异质外延法,在蓝宝石衬底上成功实现高质量铱单晶薄膜生长。利用高质量铱单晶薄膜作为缓冲层,可有效提高单晶金刚石的生长质量,对于制备高质量大尺寸单晶金刚石半导体材料具有重要意义。此工艺使大尺寸单晶金刚石晶圆的产业化成为可能。

2. 同质外延大尺寸单晶

采用 MPCVD 法,在单晶金刚石籽晶上进行同质外延生长,推进单晶金刚石在热学、光学和电学等领域的应用研究。为科研机构和企业提供高质量热学级、光学级和电子级单晶产品。目前,单晶金刚石已实现规模化量产,供货稳定。

两种工艺互补,异质外延可实现大尺寸低成本,同质外延则追求极致晶体质量,客戶可根据具体应用需求选择合适的生长方式。

应用场景

功率半导体器件

作为宽禁带半导体材料,单晶金刚石在高压、高频功率器件中具有突破性潜力,击穿场强是 GaN 的 2 倍、SiC 的 2.5 倍,可用于下一代超高压功率开关器件。

超精密加工工具

单晶金刚石是理想的超精密刀具材料,极高的硬度和耐磨性适用于非铁金属、复合材料、陶瓷等材料的纳米级精密加工。

光学窗口 & 透镜

宽光谱透过范围(UV-VIS-IR),高折射率,极低吸收系数,适用于激光窗口、红外光学系统、X 射线窗口等高要求光学应用。

航空航天 & 核能

化学惰性和抗辐射性使其成为航天器窗口、核反应堆监测窗口等极端环境应用的理想材料。

热管理 & 散热

最高热导率使其成为高功率密度芯片的理想散热衬底,可在 GaN-on-Diamond 结构中大幅提升器件散热能力。

电化学电极

掺杂型单晶金刚石(如硼掺杂)具有宽电化学窗口和低背景电流,适用于污水处理、电化学传感器等高端电化学应用。

量子信息 & 传感器

单晶金刚石中的 NV 色心在量子计算、量子传感和磁力计等领域具有重要应用价值,是量子信息科学的前沿材料。

高能物理探测器

单晶金刚石的抗辐射性和快速响应特性使其成为高能物理实验中的理想粒子探测器和辐射监测器材料。

定制与加工能力

我们提供从材料生长到后加工的一站式服务,帮助客户直接拿到满足应用需求的产品。

尺寸与等级定制
尺寸定制6×6mm、10×10mm 或按客户要求定制任意尺寸
厚度定制0.3–4mm 范围内按需定制
晶向选择(100)、(110)等晶向可选
掺杂定制硼掺杂(p型)、氮掺杂(n型),浓度可调
等级选择热学级 / 光学级 / 电子级
后加工服务
表面精抛A级 Ra<2nm / B级 Ra<10nm,白光干涉仪检测
激光切割高精度激光切割,边缘质量 <3°
金属化提供 Ti/Pt/Au、Cr/Au 等金属镀层方案
检测报告每批次提供表面粗糙度、XRD、Raman 等检测数据

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